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名詞解釋

填充薄膜

答案：

是指用金屬薄膜填充通孔，以便在兩金屬層之間形成電連接。

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通孔

答案：

是指穿過各種介質(zhì)從某一金屬到毗鄰的另一金屬層形成電通路的開口。

接觸

答案：

是指芯片內(nèi)的器件與第一層金屬之間在硅表面的連接。

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