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【簡答題】電子束加工的特點
答案:
1)可實現(xiàn)極其微細的聚焦,可實現(xiàn)亞微米和毫微米級的精密微細加工;2)電子束加工主要靠瞬時熱效應,工件不受機械力作用,不產(chǎn)...
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