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單項選擇題
在已擴散結深達0.8μm的p-Si上再進行濕氧,氧化層厚0.2μm時,結深是多少()
A.0.6μm
B.0.712μm
C.0.512μm
D.0.088μm
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判斷題
離子注入硼無需退火就有電活性,所以才會出現(xiàn)隨退火溫度升高反而電激活率下降的逆退火現(xiàn)象。
答案:
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多項選擇題
關于離子注入?yún)^(qū)形成非晶層的臨界劑量,下面哪幾種說法正確()
A.靶溫升高,臨界劑量上升
B.注入離子越輕,臨界劑量越小
C.注入離子劑量率增大,臨界劑量降低
D.注入離子能量越高,臨界劑量越低
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