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【簡答題】什么是短溝道效應(yīng)?有哪些設(shè)計和工藝措施可以降低短溝道效應(yīng)?
答案:
短溝道效應(yīng)主要是指閾值電壓與溝道相關(guān)到非常嚴(yán)重的程度,或者溝道長度減小到一定程度后出現(xiàn)的一系列二級物理效應(yīng)統(tǒng)稱為短溝道效...
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