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問答題

【簡答題】yield loss analysis的功能為何？

答案： ① 找出對(duì)良率影響最大的工藝步驟。
② 經(jīng)由killing ratio的計(jì)算來找出對(duì)良率影響最大的缺陷種類。

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【簡答題】何謂yield loss analysis?

答案：收集并分析各工藝區(qū)間所產(chǎn)生的缺陷對(duì)產(chǎn)品良率的影響以決定改善良率的可能途徑。

【簡答題】簡述Zone partition的做法？

答案： ① 應(yīng)用各檢察點(diǎn)既有的資料可初步判斷工藝中缺陷主要的分布情況。
② 應(yīng)用既有的缺陷資料及d...

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