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問答題

【計(jì)算題】
一電容測微儀，其傳感器（平行極板電容器）的圓形極板半徑r=1mm，工作初始間隙δ₀=0.3mm，介質(zhì)為空氣。
問：
（1）如果傳感器的極板間隙變化量，電容變化量是多少？
（2）如果測量電路的靈敏度S₁=100mV/pF，讀數(shù)儀表的靈敏度S₂=5格/mV，在時(shí)，讀數(shù)儀表的實(shí)質(zhì)變化多格？

答案：

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差動(dòng)式面積電容式傳感器的主要優(yōu)點(diǎn)是（）和（）

答案：線性范圍寬；測量誤差小

由于電容式荷重傳感器具有測量誤差（）、受接觸面影響小和溫度漂移可補(bǔ)償?shù)剑ǎ┑某潭鹊葍?yōu)點(diǎn)，因此它不僅被廣泛地應(yīng)用于（）和（）的檢測，而且在自動(dòng)檢測和控制系統(tǒng)中也常來作（）發(fā)送器。

答案： ??；很?。坏厍蛭锢?; 表面狀態(tài)；位置信號(hào)