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填空題

并行工程的特征為（），（），（），（）。

答案：并行；整體；協(xié)同；集成

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柔性制造系統(tǒng)的組成包括：（），（），（）和一套計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)。

答案：加工系統(tǒng)；工件運(yùn)儲(chǔ)系統(tǒng)；刀具運(yùn)儲(chǔ)系統(tǒng)

大規(guī)模集成電路的微細(xì)制作方法有（），（），（），（），（）。

答案：延生長(zhǎng)技術(shù)；氧化；光刻；選擇擴(kuò)散；真空鍍膜

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