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問答題

【簡答題】在VLSI中，為什么要采用Cu互連及多層金屬化技術？

答案：

因為Cu的互連線電阻率低，介質層介電常數(shù)小。
多層互連對VLSI的意義：1提高集成度；2降低互連延遲3降低成本

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【簡答題】什么是分辨率？如何提高分辨率？

答案：（1）分辨率（resolution）就是屏幕圖像的精密度，是指顯示器所能顯示的像素的多少。由于屏幕上的點、線和面都是由像...

【簡答題】簡要說明正膠和負膠的關光刻原理與特性。

答案：原理：臨時性地涂覆在硅片表面，通過曝光轉移設計圖形到光刻膠上。
負膠特性：
1曝光后不可溶解

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