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【簡答題】簡述電子束加工技術(shù)的原理和應(yīng)用。
答案:
原理:利用陰極發(fā)射電子,經(jīng)加速,聚焦,成離子束,直接射到放置于真空室中的工件上,其能量密度集中在5-10μm的斑點(diǎn)...
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答案:
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