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名詞解釋

PSM移相掩膜

答案：相移掩膜上的電介質(zhì)層在光刻版上開口部分以間隔的方式形成相移圖形，通過沒有相移涂敷開口部分的光線，會(huì)與通過有相移涂敷開口的...

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