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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】
簡(jiǎn)述臺(tái)階覆蓋與接觸孔口。
答案:
準(zhǔn)直濺射技術(shù)是在高真空濺射時(shí),在襯底正上方插入一塊有高縱橫比孔的平板,稱為準(zhǔn)直器。濺射原子的平均自由程足夠長(zhǎng),則在準(zhǔn)直器...
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【簡(jiǎn)答題】熱蒸發(fā)制備薄膜的過(guò)程有哪些?
答案:
準(zhǔn)備→抽真空→預(yù)蒸→蒸發(fā)→取片
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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】氣體直流輝光放電分為哪幾個(gè)區(qū)?其中輝光放電區(qū)包括哪幾個(gè)區(qū)?濺射區(qū)域選擇在哪個(gè)區(qū)?
答案:
分為暗流區(qū),湯生放電區(qū),輝光放電區(qū),電弧放電區(qū)。
輝光放電區(qū)分為
c-d:前期輝光放電區(qū)
...
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