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填空題

光刻加工技術主要是針對集成電路制作中得到（）微細線條所構(gòu)成的（）微細復雜圖形。

答案：高精度；高密度

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立體氮化硼砂輪磨削時采用（）為磨削液，一般不用（）。

答案：油性液；水溶性液

恒溫條件主要以兩個指標進行衡量，（）和（）。

答案：恒溫基數(shù)；恒溫精度

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