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問答題

【簡答題】舉例說明用于微電子器件制造的主要襯底材料類型。

答案： 微電子器件的襯底材料主要有三種：
（元素）半導(dǎo)體（硅，鍺）；
化合物半導(dǎo)體（砷化稼，磷化稼，磷化銦）...
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名詞解釋

U（x）
答案： 用“U”描述符來表示，將潔凈度定義為U（x），其中x是每立方米空氣中所允許的超細(xì)顆粒的最大數(shù)。
名詞解釋

超細(xì)顆粒
答案： 最新的凈化空氣標(biāo)準(zhǔn)把直徑小于0.1um的顆粒一直到分立顆粒計數(shù)器能檢測到的最小顆粒都規(guī)定為超細(xì)顆粒
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