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問答題

【簡答題】簡述多晶硅注入的應(yīng)用

答案： 源漏區(qū)注入
該部分的注入工藝其能量相對較低，但劑量屬中高范圍，一般采用中束流及大束流注入機。
（1）...
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問答題

【簡答題】簡述離子注入的應(yīng)用？
答案： 溝道區(qū)及阱區(qū)摻雜這部分注入工藝的能量比較寬，但劑量屬中低范圍，所以此部分注入工藝基本上使用中束流及高能注入機。
問答題

【簡答題】簡述離子注入機的各部分工作原理？
答案： 離子注入機主要由離子源、分析磁體、加速聚焦器、掃描偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)、靶室及終端臺和真空系統(tǒng)6大部分組成。
1）離子源的...
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