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問答題
【簡答題】硅片關(guān)鍵尺寸測量的主要工具是什么？
答案：
硅片關(guān)鍵尺寸測量的主要工具是掃描電子顯微鏡（SEM），它能放大10萬到30萬倍，這明顯高于光學(xué)顯微鏡，用掃描電子顯微鏡觀...
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問答題
【簡答題】給出半導(dǎo)體質(zhì)量測量的定義。例出在集成電路制造中12種不同的質(zhì)量測量。
答案：
半導(dǎo)體質(zhì)量測量定義了硅片制造的規(guī)范要求，以確保滿足器件的性能和可靠性。
集成電路制造中的12種不同的質(zhì)量測量：<...
集成電路制造中的12種不同的質(zhì)量測量：<...
問答題
【簡答題】什么是外延層？為什么硅片上要使用外延層？
答案：
外延層是指在硅的外延中以硅基片為籽晶生長一薄膜層，新的外延層會(huì)復(fù)制硅片的晶體結(jié)構(gòu)，并且結(jié)構(gòu)比原硅片更加規(guī)則。外延為器件設(shè)...
