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多項(xiàng)選擇題

關(guān)于光學(xué)光刻,下列哪種方法可以獲得高分辨率()

A.光源為紫光
B.使用移相掩膜技術(shù)制備的光刻版
C.采取浸入式光刻方法
D.駐波效應(yīng)對(duì)分辨率無(wú)影響

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