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問答題

【簡答題】簡述化學(xué)氣相淀積的概念？

答案：化學(xué)氣相淀積（CVD）是通過混合氣體的化學(xué)反應(yīng)生成固體反應(yīng)物并使其淀積在硅片表面形成薄膜的工藝。反應(yīng)產(chǎn)生的其他副產(chǎn)物為揮...

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