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問答題
【簡答題】晶半導(dǎo)體中的缺陷都有哪些?
答案:
微觀缺陷:點(diǎn)缺陷,殘缺陷,雜志缺陷。
宏觀缺陷:小角度晶界和系屬結(jié)構(gòu),位錯(cuò)排與星形結(jié)構(gòu),雜質(zhì)析出與夾雜物。
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【簡答題】位錯(cuò)的面密度是如何計(jì)算的?
答案:
1位錯(cuò)的體密度Nv=V\L2位錯(cuò)的面密度No=S\N
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問答題
【簡答題】從微觀上看,漩渦缺陷與位錯(cuò)蝕坑有什么區(qū)別?
答案:
漩渦缺陷是淺的平底坑,顯微鏡下呈白亮的芯,而位錯(cuò)蝕坑是深的尖底坑,顯微鏡下呈黑三角形。
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