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問答題
【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)述兩步擴(kuò)散的含義與目的?
答案:
為了同時(shí)滿足對(duì)表面濃度、雜質(zhì)總量以及結(jié)深等的要求,實(shí)際生產(chǎn)中常采用兩步擴(kuò)散工藝:第一步稱為預(yù)擴(kuò)散或預(yù)淀積,在較低的溫度下...
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保形覆蓋
答案:
保形覆蓋是指無論襯底表面有什么樣的傾斜圖形在所有圖形的上面都能沉積有相同厚度的薄膜。
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橫向擴(kuò)散
答案:
由于光刻膠無法承受高溫過程,擴(kuò)散的掩膜都是二氧化硅或氮化硅。當(dāng)原子擴(kuò)散進(jìn)入硅片,它們向各個(gè)方向運(yùn)動(dòng):向硅的內(nèi)部,橫向和重...
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