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判斷題

光刻的本質是把電路結構復制到以后要進行刻蝕和離子注入的硅片上。

答案：正確

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芯片上的物理尺寸特征被稱為關鍵尺寸，即CD。

答案：正確

對正性光刻來說，剩余不可溶解的光刻膠是掩膜版圖案的準確復制。

答案：正確

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