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判斷題

與APCVD相比，LPCVD有更低的成本、更高的產量以及更好的膜性能，因此應用更為廣泛。

答案：正確

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APCVD反應器中的硅片通常是平放在一個平面上。

答案：正確

外延就是在單晶襯底上淀積一層薄的單晶層，分為同質外延和異質外延兩大類。

答案：正確

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