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填空題

芯片硅片制造廠可以分為6個(gè)獨(dú)立的生產(chǎn)區(qū)：擴(kuò)散區(qū)、（）、刻蝕區(qū)、（）、（）和拋光區(qū)。

答案：光刻區(qū)；注入?yún)^(qū)；薄膜區(qū)

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熱擴(kuò)散利用（）驅(qū)動(dòng)雜質(zhì)穿過(guò)硅的晶體結(jié)構(gòu)，這種方法受到（）和（）的影響。

答案：高溫；時(shí)間；溫度

硅中固態(tài)雜質(zhì)的熱擴(kuò)散需要三個(gè)步驟（）、（）和（）。

答案：預(yù)淀積；推進(jìn)；激活

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