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填空題

硅片上的氧化物主要通過（）和（）的方法產(chǎn)生，由于硅片表面非常平整，使得產(chǎn)生的氧化物主要為層狀結(jié)構(gòu)，所以又稱為（）。

答案：熱生長；淀積；薄膜

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列出熱氧化物在硅片制造的4種用途（）、（）、場氧化層和（）。

答案：摻雜阻擋；表面鈍化；金屬層間介質(zhì)

選擇性氧化常見的有（）和（），其英語縮略語分別為LOCOS和（）。

答案：局部氧化；淺槽隔離；STI