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問答題

【簡答題】微電子器件的特征尺寸繼續(xù)縮小的關(guān)鍵技術(shù)有哪些?

答案: 第一個(gè)關(guān)鍵技術(shù)層次:微細(xì)加工;
第二個(gè)關(guān)鍵技術(shù):互連技術(shù);
第三個(gè)關(guān)鍵技術(shù):新型器件結(jié)構(gòu),新型材料體...
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問答題

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集成電路(IC.將發(fā)展成為系統(tǒng)芯片(SOC));
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