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填空題

在多晶硅電池片上用等離子體進(jìn)行的化學(xué)（）生產(chǎn)氮化硅膜是歷來常用的方法。

答案：氣相沉積法

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電解液的高度微細(xì)噴射到鑄膜上，噴射流中夾有（）。噴射流到了光纖維的作用，激光束在鑄模上與電解液一同被切照射

答案：激光束

大部分的多晶硅基片都是用所謂的鑄造法生產(chǎn)的。基片廣泛使用（）的角。目前用眾所周知的固液界面的（）、液固速度等許多知識的累積來生產(chǎn)鑄模。

答案： 10-15cm；溫度分布

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