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單項選擇題

化學(xué)氣相沉積法是利用()或蒸汽態(tài)的物質(zhì)在氣相或氣固界面上反應(yīng)生成固態(tài)沉積物的過程。

A.液態(tài)
B.氣態(tài)
C.固態(tài)
D.固液態(tài)

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