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問答題

【簡答題】影響擴散速率的因素有哪些？

答案：

①晶體內(nèi)雜質(zhì)濃度梯度；
②環(huán)境溫度；
③雜質(zhì)本身結(jié)構(gòu)、性質(zhì)；
④晶體襯底的結(jié)構(gòu)。

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【簡答題】擴散的方式有哪三種？

答案：

①填隙式擴散
②替位式擴散
③填隙-替位式擴散

【簡答題】說明用于硅中擴散常見的固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)源。

答案：

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