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A.一般排氣系統(tǒng)
B.特殊排氣系統(tǒng)
C.制程排氣系統(tǒng)
D.專用排氣系統(tǒng)
E.排氣排水系統(tǒng)

A.金屬電遷移
B.金屬尖刺現(xiàn)象
C.芯片產(chǎn)生超過(guò)1A的峰值電流
D.柵氧化層擊穿
E.吸引帶電顆?；驑O化并吸引中性顆粒到硅片表面

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