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多項選擇題

在對層間絕緣膜進(jìn)行CMP時，層間絕緣膜的表面會隨下列那些因素產(chǎn)生變化（）。

A.電路圖形結(jié)構(gòu)的凹凸
B.尺寸大小
C.位置分布
D.高度
E.密集程度

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多項選擇題

直流二極管輝光放電系統(tǒng)是由（）構(gòu)成。

A.抽真空的玻璃管
B.抽真空后再充入某種低壓氣體的玻璃管
C.兩個電極
D.加速器
E.增益管

單項選擇題

在直流二極管輝光放電系統(tǒng)的玻璃管中，自由電子在碰撞氬原子之前可運動的平均距離又叫（）。

A.平均運動范圍
B.平均速度
C.平均碰撞距離
D.平均自由程

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