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單項(xiàng)選擇題

由于干法刻蝕中是同時(shí)對晶片上的光刻膠及裸露出來的薄膜進(jìn)行刻蝕的,所以其()就比以化學(xué)反應(yīng)的方式進(jìn)行刻蝕的濕法還來得差。

A.刻蝕速率
B.選擇性
C.各向同性
D.各向異性

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