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多項選擇題

離子注入的主要氣體源中，劇毒的有（）。

A.砷化氫
B.二硼化氫
C.四氟化硅
D.三氟化磷
E.五氟化磷

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單項選擇題

離子注入裝置的主要部件有（）、分析器、加速聚焦系統(tǒng)等。

A.中子源
B.離子源
C.電子源
D.質子源

單項選擇題

早期，研究離子注入技術是用（）來進行的。

A.重離子加速器
B.熱擴散爐
C.質子分析儀
D.輕離子分析器

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