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單項(xiàng)選擇題

在將清洗完的硅片放進(jìn)擴(kuò)散爐擴(kuò)散時(shí)，需要將硅片先裝入（），然后再裝入擴(kuò)散爐。

A.耐熱陶瓷器皿
B.金屬器皿
C.石英舟
D.玻璃器皿

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單項(xiàng)選擇題

通常熱擴(kuò)散分為兩個(gè)大步驟，其中第一個(gè)步驟是（）。

A.再分布
B.等表面濃度擴(kuò)散
C.預(yù)淀積
D.等總摻雜劑量擴(kuò)散

單項(xiàng)選擇題

下列哪些元素在硅中是快擴(kuò)散元素：（）。

A.Na
B.B
C.P
D.As