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單項選擇題

He，OH，Na等元素在900℃下，在二氧化硅中的擴散率大于10－13cm²/s，這些元素稱為（）。

A.活躍雜質(zhì)
B.快速擴散雜質(zhì)
C.有害雜質(zhì)
D.擴散雜質(zhì)

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單項選擇題

如果磷在二氧化硅中擴散，對擴散率影響最大的因素是：（）。

A.擴散劑總量
B.壓強
C.溫度
D.濃度

單項選擇題

用電容－電壓技術(shù)來測量擴散剖面分布是用了（）的原理。

A.pn結(jié)理論
B.歐姆定律
C.庫侖定律
D.四探針技術(shù)