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單項選擇題

在空位擴散中，如果遷移到空位的原子是基質原子，擴散屬于（）。

A.推擠擴散
B.雜質擴散
C.填隙擴散
D.自擴散

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單項選擇題

固體中的擴散模型主要有填隙機制和（）。

A.自擴散機制
B.雜質擴散機制
C.空位機制
D.菲克擴散方程機制

單項選擇題

對于濃度覆蓋很寬的雜質原子，可以采用（）方法引入到硅片中。

A.離子注入
B.濺射
C.淀積
D.擴散

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