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單項選擇題

鈉、鉀等大離子在二氧化硅結(jié)構(gòu)中是（）雜質(zhì)。

A.替位式
B.間隙式
C.施主
D.可能是替位式也可能是間隙式

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單項選擇題

硅-二氧化硅系統(tǒng)中含有的最主要而對器件穩(wěn)定性影響最大的離子是（）。

A.鈉
B.鉀
C.氫
D.硼

單項選擇題

二氧化硅生長過程中，當(dāng)分凝系數(shù)小于1時，會使二氧化硅-硅界面處硅一側(cè)的雜質(zhì)濃度（）。

A.降低
B.增加
C.不變
D.先降低后增加

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