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問答題
【論述題】根據(jù)原理分類，干法刻蝕分成幾種？各有什么特點？
答案：
干法刻蝕是采用等離子體進(jìn)行刻蝕的技術(shù)，根據(jù)原理分為濺射與離子銑（物理）、等離子刻蝕（化學(xué)）、反應(yīng)離子刻蝕（物理+化學(xué)）。...
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問答題
【論述題】射頻放電與直流放電相比有何優(yōu)點？
答案：
直流放電中，電荷在表面的積聚會使電場減小，直到等離子體消失。在射頻電場中，因為電場周期性地改變方向，帶電粒子不容易到達(dá)電...
