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問答題
【論述題】以P2O5為例，多晶硅中雜質(zhì)擴散的方式及分布情況。
答案：
在多晶硅薄膜中進(jìn)行雜質(zhì)擴散的擴散方式與單晶硅中的方式是不同的，因為多晶硅中有晶粒間界存在，所以雜質(zhì)原子主要沿著晶粒間界進(jìn)...
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問答題
【簡答題】寫出菲克第一定律和第二定律的表達(dá)式，并解釋其含義。
答案：
費克第一定律：C雜質(zhì)濃度；D擴散系數(shù)（單位為cm2/s）J材料凈流量（單位時間內(nèi)流過單位面積的原子個數(shù)）解釋：如果在一個...
問答題
【論述題】雜質(zhì)原子的擴散方式有哪幾種？它們各自發(fā)生的條件是什么？從原子擴散的角度舉例說明氧化增強擴散和氧化阻滯擴散的機理。
答案：
①交換式：兩相鄰原子由于有足夠高的能量，互相交換位置。②空位式：由于有晶格空位，相鄰原子能移動過來。③填隙式：在空隙中的...
