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填空題

在半導(dǎo)體工藝中，硫酸常用于去除（）和配制（）等。

答案：光刻膠；洗液

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白光照射二氧化硅時，不同的厚度有不同的（）。

答案：干涉色

半導(dǎo)體中的離子注入摻雜是把摻雜劑（）加速到的需要的（），直接注入到半導(dǎo)體晶片中，并經(jīng)適當(dāng)溫度的（）。

答案：離子；能量；退火處理

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