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名詞解釋

ALE

答案：原子層外延，是向襯底交替單獨供給半導(dǎo)體組成元素的源，使各組成元素以單原子層在襯底上進行一層一層地生長一層分子層。

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CBE

答案：化學(xué)束外延生長。用氣態(tài)源代替固態(tài)源進行MBE生長，即氣態(tài)源MBE。

MBE

答案：分子束外延，是在超高真空超高真空的條件下，用分子束或原子束輸運源進行外延生長的方法。在超高真空中，分子束中的分子之間以及...

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