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問答題

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答案： ①器件保護（避免劃傷和污染），因sio₂致密；
②表面鈍化（飽和懸掛鍵，降低界面態(tài)；需一...

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答案：

采用干法刻蝕，是為了保證深寬比。

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答案：采用三明治金屬結構，包括：
（1）淀積Ti，使鎢塞和下一層金屬良好鍵合，層間介質良好鍵合；
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