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問答題

【簡答題】MEMS的定義是什么？

答案：

完整的MEMS是由微傳感器、微執(zhí)行器、信號處理和控制電路、通信接口和電源等部件組成的一體化的微型器件系統(tǒng)。

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【簡答題】MEMS的英文名是什么？

答案：

Micro-Electro-Mechanical Systems

【簡答題】氣敏傳感器的特性？

答案：

氣敏傳感器的特性主要有靈敏度；響應時間；選擇性；穩(wěn)定性；溫度特性；濕度特性；電源電壓特性。