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名詞解釋

LIGA技術(shù)工藝過(guò)程

答案：深層同步輻射X射線光刻把從同步輻射源放射出的具有短波長(zhǎng)和很高平行度的X射線作為曝光光源可在最大厚度達(dá)500um的光致抗蝕...

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