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填空題

微細(xì)加工中的三束加工是指（），（），（）。

答案：電子束；離子束；激光束

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先進(jìn)制造基礎(chǔ)技術(shù)的特點除了保證優(yōu)質(zhì)、（）、低耗外，還應(yīng)包括（）。

答案：高效；無污染

先進(jìn)制造技術(shù)包含（）、（）和（）三個技術(shù)群。

答案：主體技術(shù)群；支撐技術(shù)群；制造技術(shù)環(huán)境

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