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問答題
【簡答題】真空泵入口二次門有哪些聯(lián)鎖?
答案:
1)真空泵運行中跳閘,該門自關(guān);
2)真空泵啟動后,該門前后壓差至規(guī)定值時自開。
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【簡答題】真空泵入口二次門是什么形式的?
答案:
氣控薄膜閥。
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答案:
判斷真空泵是否工作正常;也可以判斷真空泵入口氣控閥是否嚴密。
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