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問答題

【簡答題】簡述鋁的結(jié)穿刺現(xiàn)象及解決方法。

答案：在純鋁和硅的界面加熱合金化過程中（450～500℃），硅開始溶解在鋁中直到在鋁中的濃度達到0.5％，該過程消耗硅并在硅中...

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【簡答題】簡述鋁互連的優(yōu)缺點。

答案：優(yōu)點：①電阻率低；
②鋁的成本低；
③與硅和二氧化硅的粘附性好；
④易于沉積成膜（蒸發(fā)、濺...

【簡答題】簡述高能離子轟擊的內(nèi)容。

答案： ①離子反射（能量很小）；
②離子吸附（<10eV），能量轉(zhuǎn)化熱能；
③離子注入（>10keV），能量...