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問答題

【簡答題】
說明擴(kuò)散雜質(zhì)的余誤差函數(shù)分布特點(diǎn)（恒定表面源擴(kuò)散屬于此分布）

答案： ①雜質(zhì)表面濃度由該種雜質(zhì)在擴(kuò)散溫度下的固溶度所決定。當(dāng)擴(kuò)散溫度不變時(shí)，表面雜質(zhì)濃度維持不變；
②擴(kuò)散時(shí)間越長，...

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①間隙式擴(kuò)散；
②替位式擴(kuò)散。

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答案： ①結(jié)構(gòu)及質(zhì)量：熱生長的比沉積的結(jié)構(gòu)致密，質(zhì)量好。
②成膜溫度：熱生長的比沉積的溫度高?？稍?00℃獲得沉積氧化...