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【簡(jiǎn)答題】芯片工藝包含哪些部分?每個(gè)部分各包含哪些具體的工藝流程?
答案:
前工藝、后工藝、點(diǎn)測(cè)分選三部分。
(1)前工藝:外延片上做成一顆顆晶粒;
(2)后工藝:后工藝是將前工藝...
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