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填空題

直拉法生長單晶硅要經(jīng)過()六個階段。

答案: 熔料、引晶、縮頸、放肩、等徑生長和收尾
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目前,生長單晶硅的方法主要有()。

答案: 直拉法、區(qū)熔法和外延法
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