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填空題

物理氣相沉積法是利用（）將原料加熱，使之汽化或形成（），在基體上冷卻凝聚成各種形態(tài)的材料（如晶須、薄膜、晶粒等）的方法。其中以（）、（）較為常用。

答案： 高溫?zé)嵩?；等離子體；陰極濺射法；真空蒸鍍法
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