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填空題

凡能產生真空的設備稱為真空泵。常用的真空泵有:(1)()泵,能產生()Pa~()Pa的()真空;(2)()泵,它必須用()泵作為前級泵,可獲得()Pa~()Pa的()真空;(3)()泵和(4)()泵,兩者串聯(lián)可獲得()Pa的()真空。

答案: 機械;1;0.1;低;擴散;機械;10-4;10-7;高;吸附;鈦;10-8;超高
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